AMU-35-300U/LED

約380 × 380mmの広い照射範囲を備えた、300mmウエハ対応モデル

12インチ対応波長換装可クリーンルーム対応

製品概要

12インチ（300mm）ウエハに対応する卓上型LED UV照射器です。365・385・405nmのピーク波長へ換装できます。クリーンルーム対応や外部機器との連携にも配慮しています。

型式	AMU-35-300U/LED
外形寸法	W580 × D535 × H206 mm
重量	約28.5 kg
照射範囲	約380 × 380 mm
実測照度	19.0～21.0 mW/cm²（365nm、常温域で計測）
ランプ	LD15T8・365/11/G13/OP/A01
ピーク波長	365・385・405nmから選択・換装可
定格寿命	20,000時間
電源	AC100V（50/60Hz）
外部接続	外部連携用IN/OUT端子 × 6、USB端子 × 1
その他	N₂用 φ6.0 mm継手・スピコン・流量計、温度感知式冷却ファン、各部セーフティ機構

照度は代表的な実測値です。測定条件や個別仕様、オプションについてはお問い合わせください。